TESCAN představuje první kombinovaný FIB-SEM s plazmovým zdrojem iontů

Brno 3. října (PROTEXT)

Vysokorozlišovací rastrovací elektronový mikroskop se Schottkyho katodou vybavený fokusovaným iontovým svazkem (Focused Ion Beam - FIB) s plazmovým zdrojem iontů.

Vysokorozlišovací rastrovací elektronový mikroskop se Schottkyho katodou vybavený fokusovaným iontovým svazkem (Focused Ion Beam - FIB) s plazmovým zdrojem iontů.

Akciová společnost TESCAN, světový výrobce a dodavatel systémů a řešení v oblasti elektronové mikroskopie, uvádí na trh technickou novinku - systém FERA3.

Jedná se o vysokorozlišovací rastrovací elektronový mikroskop se Schottkyho katodou vybavený fokusovaným iontovým svazkem (Focused Ion Beam - FIB) s plazmovým zdrojem iontů. Systém byl vyvinut a postaven ve spolupráci s francouzskou firmou Orsay Physics, se kterou společnost TESCAN spolupracuje již několik let.

Kromě elektronového a iontového tubusu může být přístroj vybaven systémem pro vstřikování plynů, nanomanipulátory, detektory různých produktů interakce, jako jsou sekundární a zpětně odražené elektrony, sekundární ionty charakterizující rentgenové záření, katodoluminiscence a další. Zdrojem iontů pro fokusovaný iontový svazek je plazma xenonu.

"Systémy tohoto charakteru jsou žádané například v polovodičovém průmyslu pro zjišťování vad při výrobě integrovaných obvodů nebo pro 3D metrologii a podobně,“ informuje Hana Glatzová, obchodní ředitelka společnosti TESCAN. "V porovnání s dosud běžnými technologiemi FIB je produktivita odprašování materiálů u tohoto nového systému více než třicetkrát vyšší. Proto je vhodný pro rychlé odprašování velkých objemů. Zájem je velký, první systém bude dodán již letos do MiQro Innovation Collaborative Centre (C2MI) v Kanadě, kde bude sloužit ke kontrole zapouzdření integrovaných obvodů,“ dodává Hana Glatzová.

MiQro Innovation Collaborative Centre (C2MI) je zvláštní partnerskou organizací Université de Sherbrooke, Teledyne DALSA Inc. a IBM Canada Ltd, Bromont Plant. C2MI tak bude mezinárodním průkopníkem v oboru pouzdření nově vyvíjených čipů a konstrukce pouzder pro příští generace mikroelektromechanických systémů (MEMS).

TESCAN, a.s. je světový dodavatel vědeckých přístrojů a řešení v oblasti rastrovací elektronové mikroskopie s využitím pro různé aplikace. Značka TESCAN si za dvacet let svého působení získala renomé inovativním přístupem k nabízeným řešením, úzkou spoluprací se špičkovými vědeckými pracovišti univerzit i vědeckých institucí nejen v ČR, ale hlavně v zahraničí, a v neposlední řadě svou pružností při řešení požadavků zákazníků. Přístroje firmy TESCAN pracují u více než tisícovky uživatelů po celém světě.

http://www.tescan.com

http://www.c2mi.ca

Kontakt:

Ing. Martin Zadražil, PhD.

Ředitel divize Brno

TESCAN a.s.

Tel: +420 547 130 461

E-mail: Info@tescan.cz

http://www.tescan.com

Mgr. Daniel Libertin

PR Specialista

ANTECOM s.r.o.

antecom@antecom.eu

ČTK ke zprávě vydává fotografii, která je k dispozici ve Fotobance ČTK na adrese

http://multimedia.ctk.cz/cs/foto/hledani?sendFlag=1&q=protext&name=1&lang=none&service%5B%5D=1&service%5B%5D=2&service%5B%5D=3&service%5B%5D=4&service%5 B%5D=5&service%5B%5D=6 a na webu Protextu http://www.protext.cz.

Klíčová slova ČR-elektronika-firmy-TESCAN-ANTECOM

Oblast
Jihomoravský (bn)

Kategorie
IT, telekomunikace

ZASÍLÁNÍ ZPRÁV
Přihlásit k odběru

Upozornění:
Materiály označené značkou Protext nejsou součástí zpravodajského servisu ČTK a nelze je publikovat pod její značkou. Jde o komerční sdělení zadavatele, který je ve zprávě označen a který za ně nese plnou odpovědnost.